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電鏡在陶瓷類樣品的觀察中應用非常廣泛,本文首先介紹了掃描電鏡在陶瓷樣品觀察上的常規方法,繼而結合筆者多年制樣經驗,就玻璃相的制樣處理方法、電子束穿透深度對圖像的影響、能譜分析技術和飛納電鏡拓展軟件分別作了闡述。分為上下兩部分進行討論。
掃描電鏡在陶瓷樣品觀察上的常規方法
(a)
(b)
圖1 飛納電鏡照片(a)功能摻雜陶瓷1000×(b)陶瓷片斷面2000×
圖1陶瓷的SEM照片比較常見,那么一般陶瓷類樣品用掃描電鏡做什么呢?無外乎以下幾個方面的研究,顯微結構分析:晶體生長機理、臺階、位錯、缺陷等的研究;成分非均勻性、殼芯結構、包裹結構的研究;靜態或動態微觀裂紋或氣孔的研究;加熱前后晶體合成、氣化、聚合反應等研究;微區成分分析。
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